INFICON探头PEG100/351-000

　　INFICON探头PEG100/351-000

　　INFICON Penning Gauge PEG100提供可靠的高真空测量。坚固的潘宁冷阴极传感器没有细丝可烧坏。由于钛阴极板和等离子点火后降低的高电压，该压力计也可以在溅射应用中运行。除对数模拟输出信号外，现场总线选件还允许使用Profibus DP或DeviceNet协议轻松集成到真空系统中。

　　优点

　　测量范围从1 x 10 -9到1 x 10 -2 mbar(7.5 x 10 -10到7.5 x 10 -3 Torr)

　　带陶瓷馈通的全金属冷阴极传感器(钢笔)

　　创新的电极几何形状提供出色的点火性能

　　等离子点火和钛阴极板后降低的高压降低了污染的风险，即使在使用氩气进行溅射操作期间也是如此

　　阳极环和钛阴极可轻松清洁或更换

　　靠近标尺的比较小磁场强度

　　LED指示灯用于通电和等离子点火

　　对数模拟输出信号

　　现场总线接口(DeviceNet)，可通过网络通信轻松集成到真空系统中

　　典型应用

　　高真空压力监控

　　蒸发和溅射系统

　　在高真空和高真空范围内的常规真空测量和控制